source de pulvérisation ionique

source de pulvérisation ionique
dulkinamasis jonų šaltinis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion sputtering source vok. Ionensputterquelle, f rus. источник для ионного распыления, m pranc. source de pulvérisation ionique, f

Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. . 2000.

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